普泰克制冷設(shè)備
專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線：021-51602552
專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線：021-51602552
產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER產(chǎn)品分類
Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負(fù)載的情況下控溫精度可達(dá)±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。
Chiller半導(dǎo)體溫控設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)多路反應(yīng)腔室的精準(zhǔn)控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進(jìn)的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。
Copyright © 2026 普泰克（上海）制冷設(shè)備技術(shù)有限公司版權(quán)所有 備案號(hào)：滬ICP備2021029247號(hào)-5
技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng) 管理登錄 sitemap.xml
當(dāng)前位置：
